これらの加工機に共通していることは、極めて運動精度が高い機械構成要素から出来ていることです。

右図１に、超精密旋盤の一例を示しますが、振動を防止するため、空気バネで支持された、御影石製のベット上に摺動テーブルと回転スピンドルを搭載しています。主軸は、図２に示しますように、軸と軸受け間に圧縮空気を供給して軸を浮かせた静圧軸受が用いられます。回転精度０．１μm以下を得ることができます。

同様にテーブルのスライド部にも高圧の油又は空気を供給してテーブルを浮上させた支持機構が用いられ、真直精度０．１μm以下のスライドテーブルを実現しています。送り機構はナットと送りねじのかみ合い部へ高圧の流体を供給して直接接触することが内容にした静圧ねじを採用し、ナットをバネで支持して、ねじのふれ回りによる揺動を押さえております。
切り込み機構として送りねじによるほか、微動機構として圧電素子によりダイヤモンドバイトを１ナノメートルステップでの切り込みを可能としているものもあります。