各種精度について

【平面度】
JIS規格では、「平面度とは、互いに平行な二つの平面の間の空間を表す」と規定されています

	測定方法（ラップ・ポリッシュにおける）
	(A) オプチカルフラットによる測定この原理は、完全に平坦の出た（1/5～1/10ライトバンド）基準原器（オプチカルフラット）とワークを接触させて、そこに、短波長光源を当てることにより、光学的に干渉縞を発生させ、その干渉縞により平面度を測定するものです。つまり、ワークと光学基準原器（オプチカルフラット）との一種の比較測定となります。面粗度が鏡面まで出ていない場合は、光学測定できませんので、(C)の方法により、測定します。 (B) レーザー干渉計による測定 (A)のオプチカルフラットによる測定では、接触式なので、どうしてもワークにキズが入ります。そこで、非接触式の測定器が開発されて、一般に実用化されています。この原理は、基本的にオプチカルフラットと同じですが、レーザービームを使用し、オプチカルフラットに反射させて、干渉縞を発生させ、それをデジタル処理、又は手動により解析させるものです。（ZYGO等）このシステムは完全に「鏡面でなくても干渉縞を起こすことができる」、「非接触なのでワークにキズが付かない」等のメリットがあります。しかし、レーザーを使用するため、当然、高価であることが欠点です。 (C) ３点ゲージによる測定正確には光学式干渉計に勝るものはありませんが、ミクロンオーダーであれば、３点ゲージ比較測定で大まかな数字をつかむことができます。
【平行度】 JIS規格では、「平行度とは、基準平面に平行なある感覚を持つ、互いに平行な二つの平面の間の空間を表す」と規定されています
	測定方法（ラップ・ポリッシュにおける）
	(A) オプチカルフラットによる測定現在のところ、平行度を測定する専門の、また、正確に測定するものは残念ながらありません。よって、測定は全体の総厚みをマイクロメーター又は、ハイトゲージで測定し、その差を読みとるのが一般的です。
【面粗さ】面粗度は、面粗さ、平滑度、ラフネス等と言われ、JIS規格では、「工業製品の表面粗さを表す中心線平均粗さ（Ra）、最大高さ（Rmax）、及び十点平均粗さ（Rz）の定義と表示について規定する」とあります。
	測定方法（ラップ・ポリッシュにおける）
	(A) 面粗さ計による測定面粗度の測定には面粗さ計（接触式）を用います。ただし、針圧は100mg程度以下ですが、接触式であるため、特に軟らかいワークにはキズがつきます。 (B) 非接触面粗さ計による測定非接触粗さ計はワークにキズが入らないというメリットがありますが、高価であることが欠点です。