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様々な被研磨材(ワーク)にあわせた研磨剤を提案いたします。
製品
研磨微紛A(溶融アルミナ)
アルミナ鉱石を電気炉で溶融して作られる人造研磨剤の代表的なものです。ボーキサイト、アルミナ質シュールなどのアルミナ鉱石とケイ素、鉄、チタンを電融し、酸化アルミニウムを結晶化させたインゴットを粉砕し、不純物を取り除き精製したものであり、通称アランダムと呼ばれ、褐色の靭性の強い人造研磨剤です。
研磨微紛WA(白色溶融アルミナ)
A材同様、電気炉で溶融して作られる人造研磨剤の代表的なものです。ボーキサイト、アルミナ質シュールなどのアルミナ鉱石を電融し、アルミナを抽出し、結晶化させた白色のもので、高純度の結晶粒からなり、不純物を取り除き精製したものです。通称ホワイトアランダムと呼ばれ、白色で破砕の強さと、切刃の自性作用の大きい人造研磨剤です。
A,WA粒度特性
粒度 | #320 | #400 | #600 | #800 | #1000 | #1200 | #1500 | #2000 | #3000 | #4000 |
呼称μm | 57 | 40 | 28 | 20 | 16 | 13 | 10 | 7.6 | 5 | 3 |
研磨微紛KOA
主成分は溶融アルミナからなり、外見は褐色の粉末で非常に靭性に富みます。ジルコニアを一定の割合で混合し、弱強の弾性を持たせ、また、アルミナの粒形を多面立法形に特殊加工を行なうことにより、砥粒の転がりがよくラップ面がスクラッチフリーに仕上がります。
シリコンウエーハの研磨に最適です。
KOA粒度特性
粒度 | #280 | #320 | #400 | #500 | #600 | #800 | #1000 | #1200 | #2000 |
呼称μm | 67 | 57 | 40 | 35 | 28 | 16 | 13 | 10 | 3 |
※グレーは受注生産品
磨微紛GC(緑色炭化珪素)
珪石とコークスを電気炉で焼成して作られる人造研磨剤の代表的なものです。 炭化珪素純度が高く硬度に優れているうえ、結晶が強靭なため硬いワーク、取り代のあるワークに最適です。
GC粒度分布(JIS拡大写真法による)
粒度 | #240 | #320 | #400 | #600 | #800 | #1000 | #1200 | #1500 | #2000 | #3000 |
平均粒径 μm |
87.5 ~ 73.5 |
62 ~ 52.5 |
44 ~ 37 |
31 ~ 26 |
22 ~ 18 |
18 ~ 14.5 |
14.5 ~ 11.5 |
11.5 ~ 8.9 |
8.9 ~ 7.1 |
5.9 ~ 4.7 |