ラッピングポリシングマシン

ラッピングポリシングマシン

様々なデバイスの高集積化、電子部品や精密部品の高精度加工などの産業のニーズに応える上でラッピング・ポリシングなどの研磨方法は重要な加工技術となっています。特にファインセラミックス、超精密光学部品、磁気ヘッドなどの表面創成には欠かせない方法といっても過言ではありません。

モデル TR-15S

ラッピング・ポリシングマシンTR-15Sは従来のラッピング・ポリシング加工での様々な問題を克服し、あらゆる高精度を要求する分野に挑戦したラッピング・ポリシングマシンです。
磁気ヘッド、YAG、レーザー等の高精度加工を必要とする超精密研磨に最適です。プレート面の振れや摺動抵抗等の精度を追求することにより、ワークに無理な力をかけずに安定した加工レートを得られ、且つ加工中のスクラッチ発生を除去しています。
また、フェーシング機構・循環式水冷機構の採用により、プレートの平坦度を常に管理・維持ができます。
加えて、オシレーション機構・強制ドライブ機構等の採用によりさまざまな高精度を要求する分野に対応したラッピング装置です。

特徴

1.高精度スピンドル
ラッピング・ポリシング加工においてテーブル面振れ精度を極限まで追求した高精度スピンドルを採用しています。また、オプションとしてエアーベアリングを搭載したタイプもあります。
2.水冷機構
標準仕様としてテーブル受プレートに循環式水冷機構を搭載しています。従って、ラップ・ポリシング中の発熱をおさえることができ、プレートの平坦度を常に管理・維持し、恒久的に安定したラッピング・ポリシングが可能です。
3.フェーシング装置
片面ラッピングマシンの最重要課題であるプレート平面度管理をこのフェーシング装置により誰でも簡単に行えるようになり、プレートの平面度を追求することができます。
4.オプション
各種要求に合わせた装置のカスタマイズ化が可能です。
(1)フェーシング装置
(2)オシレーション揺動装置
(3)ワーク強制駆動装置
(4)ワーク加圧装置
(5)スパイラル溝切り装置
(6)機械カバー
(7)耐薬品仕様

本体主要仕様

1. ラッププレート関係
ラッププレートの大きさ
ラッププレートの回転数
ラッププレートの冷却方式
外径φ380mm
0~300rpm
恒温水循環方式
無段階変速
2. フェーシング関係
フェーシングバイト
フェ-シングバイト
送り速度
切込方法
0~500mm/min
1目0.01mmマイクロメータヘッド
3. オシレーション関係
オシレーション揺動ストローク
オシレーション速度
0~30mm
無段階速度
4. 強制駆動機構
強制駆動ドライブ数
強制駆動速度
ドライブ方式
2軸(オシレーション使用時)
無段階速度
ベルト伝達駆動
5. ネジ切り機構
スパイラルピッチ 0.1~9.9mm
6. エアーシリンダー機構
エアーシリンダーストローク
加圧重量範囲
供給エアー
100mm
10~50kg
5.0kg/cm2
7. 対象ワーク
最大ワーク
最大ワーク
丸 約φ140mm
角 約□95mm
8. 装置重量寸法
装置重量(フル装備)
装置サイズ
約800kg
幅700mm×奥行1530mm×高さ1671mm(エアーシリンダー含む)

モデル TR-15M

小型でリーズナブルな研磨装置であり、試験室の実験機に最適です。定盤の交換も容易にできるので、GC、ダイヤモンド等様々な砥粒に対応できます。

特徴

1.卓上研磨装置
プレートがφ380mmにも関わらず、
底面積での設置が可能です。
2.操作パネル内蔵式
装置本体に操作パネルを内蔵しているコンパクト設計です。
3.オプション
(1)オシレーション揺動装置
(2)ワーク強制駆動装置
(3)ワーク加圧装置
(4)機械カバー
(5)耐薬品仕様

本体主要仕様

1. ラッププレート関係
ラッププレートの大きさ
ラッププレートの回転数
ラッププレートの冷却方式
外径φ380mm
0~100rpm 無段階変速
冷却機構無
2. 強制駆動機構
強制駆動ドライブ数
強制駆動速度
ドライブ方式
3軸
無段階速度
ベルト伝達駆動
3. オシレーション関係(単軸タイプ)
オシレーション揺動ストローク
オシレーション速度
0~30mm
無段階速度
4. エアーシリンダー機構(単軸タイプ)
エアーシリンダーストローク
加圧重量範囲
供給エアー
100mm
5~30kg
5.0kg/cm2
5. 対象ワーク
最大ワーク
最大ワーク
丸 約φ140mm
角 約□95mm
6. 装置重量寸法 650mm×奥行540mm×高さ340mm
(タンク設置台 電装BOXは除く)

TR-15M

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