各種精度について

各種精度について

【平面度】
JIS規格では、「平面度とは、互いに平行な二つの平面の間の空間を表す」と規定されています

測定方法(ラップ・ポリッシュにおける)
(A) オプチカルフラットによる測定
この原理は、完全に平坦の出た(1/5~1/10ライトバンド)基準原器(オプチカルフラット)とワークを接触させて、そこに、短波長光源を当てることにより、光学的に干渉縞を発生させ、その干渉縞により平面度を測定するものです。つまり、ワークと光学基準原器(オプチカルフラット)との一種の比較測定となります。面粗度が鏡面まで出ていない場合は、光学測定できませんので、(C)の方法により、測定します。
(B) レーザー干渉計による測定
(A)のオプチカルフラットによる測定では、接触式なので、どうしてもワークにキズが入ります。そこで、非接触式の測定器が開発されて、一般に実用化されています。この原理は、基本的にオプチカルフラットと同じですが、レーザービームを使用し、オプチカルフラットに反射させて、干渉縞を発生させ、それをデジタル処理、又は手動により解析させるものです。(ZYGO等)このシステムは完全に「鏡面でなくても干渉縞を起こすことができる」、「非接触なのでワークにキズが付かない」等のメリットがあります。しかし、レーザーを使用するため、当然、高価であることが欠点です。
(C) 3点ゲージによる測定
正確には光学式干渉計に勝るものはありませんが、ミクロンオーダーであれば、3点ゲージ比較測定で大まかな数字をつかむことができます。
【平行度】
JIS規格では、「平行度とは、基準平面に平行なある感覚を持つ、互いに平行な二つの平面の間の空間を表す」と規定されています
測定方法(ラップ・ポリッシュにおける)
(A) オプチカルフラットによる測定
現在のところ、平行度を測定する専門の、また、正確に測定するものは残念ながらありません。よって、測定は全体の総厚みをマイクロメーター又は、ハイトゲージで測定し、その差を読みとるのが一般的です。
【面粗さ】
面粗度は、面粗さ、平滑度、ラフネス等と言われ、JIS規格では、「工業製品の表面粗さを表す中心線平均粗さ(Ra)、最大高さ(Rmax)、及び十点平均粗さ(Rz)の定義と表示について規定する」とあります。
測定方法(ラップ・ポリッシュにおける)
(A) 面粗さ計による測定
面粗度の測定には面粗さ計(接触式)を用います。
ただし、針圧は100mg程度以下ですが、接触式であるため、特に軟らかいワークにはキズがつきます。
(B) 非接触面粗さ計による測定
非接触粗さ計はワークにキズが入らないというメリットがありますが、高価であることが欠点です。
お問い合わせ