レーザー干渉計

フィゾー光干渉式の原理を応用した平面度測定器で、オプチカルフラット基準面に対向した被測定面を干渉縞の変位として測定します。
干渉縞1本は1/2波長(0.34μm)の変位に相当します。
半導体レーザーを光源とし、干渉した光をCCDカメラにて検出し観測用モニターより表示します。
また、ビデオプリンターとの接続により画像記録が可能です。

レーザー干渉計

仕様

<仕様>
商品コード UHLI-60F UHLI-150F
測定方法 フィゾー光干渉式 フィゾー光干渉式
光源 半導体レーザー 半導体レーザー
干渉縞感度 1/2波長(0.343μm) 1/2波長(0.343μm)
オプチカルフラット 面精度λ/20 面精度λ/20
測定面積 MAXφ60mm MAXφ150mm
サンプルステージ φ140mm φ300mm
観測方法 4インチ液晶/9インチモニター 4インチ液晶/9インチモニター
電源 AC100V 50W AC100V 50W
寸法(mm) 200×280×600 600×500×830
重量 20kg 40kg
※記録用ビデオプリンターはオプションです。
商品コードはUTEの商品管理No.です。

商品のご指定方法(商品見積依頼用記入シートをご利用下さい)

商品名 :レーザー干渉計
商品コード :UHLI-60F
仕様 :フィゾー光干渉式
寸法 :MAXφ60mm
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