選定測定技術

ナノメーターの切れ味を求めるツールの製作は単結晶ダイヤモンドの選別と選定から始まります。ダイヤモンド結晶格子の格子定数は3.5667Åですが、結晶面の間隔には違いがあり、これが不純物の入り込み易さ、へき開の起り易さにつながります。
この原石の選別と加工状況に合わせた結晶方位の設定が重要です。

研磨・計測技術

ナノメーター制御の動きを転写する刃先研磨技術

ナノメーターの動きを正確に工作物に転写するには、ナノメーターレベルの切り屑が出せる鋭利な刃と高精度な輪郭精度が必要です。
これを独自開発の研磨技術と計測技術で可能にしました。

ナノマイクロ加工技術

フォトリソグラフ法やイオンビーム法では得られない真直性と表面粗さ

アラマイドマテリアルのUPC-Nanoシリーズはナノの切れ味でフォトリソグラフ法やイオンビーム法では得られない表面粗さ、真直性を実現します。
マイクロメータオーダーの高アスペクト比の加工にも効果を発揮します。

ＵＰＣ－Nano groove　　超微細溝入れタイプ

これはテキスト／画像ブロックです。

ＵＰＣ－Nano endmill　　マイクロエンドミル(スクエアタイプ)

用途
１．ホログラム回折格子
２．自由曲線微細溝加工
３．液晶ディスプレイ導光板
４．マイクロマシン部品加工
特徴
１．溝幅３０μｍと世界最小級の曲線など自由な溝入れが可能
２．寸法は±０.５μｍで世界最高精度
３．高精度研磨で耐久性のある切れ刃
４．フォトリソ、エッチング、ビーム加工では得られない構成度な微細溝入れ

ＵＰＣ－Nano ballendmill　　マイクロエンドミル(ボールタイプ)

用途
１．マイクロレンズアレイ
２．自由曲面サブミリレンズ
３．液晶ディスプレイ導光板金型
４．マイクロマシン部品加工
特徴
１．Ｒ５０μｍと世界最小のボール型エンドミル
２．輪郭線は５０ｎｍと世界最高精度
３．非常に切れ味の良い刃で３次元加工が可能
４．フォトリソグラフィー、イオンビーム加工では得られない構成度な微細溝入れ

ＵＰＣ－Nano Profile　　総型タイプ

用途
１．スクリーンシートの金型
２．マイクロレンズの金型
３．光学素子金型

特徴
１．形状精度１μｍ以下の放物面、楕円の一発加工が可能
２．放物面、自由曲面の形状制度を保証

ＵＰＣ－Ｒ

ＵＰＣ－Ｒは球面・非球面の超精密切削に抜群の威力を発揮

寸法及び限界精度

型番		輪郭度			コーナー 半径Ｒ	刃先角θ	刃幅Ｗ	逃げ角α	すくい角β
		θ≦90°	θ≦120°	θ≦150°
ＵＰＣ－ＲＴ	超精級 ＳＳ	0.05μm	0.15μm	0.20μm	0.005～ 3mm	15°以上	―	0°～20°	－30°～10°
	精級 Ｓ	0.5μm	1.0μm	2.0μm
ＵＰＣ－ＲＲ	超精級ＳＳ	0.05μm	0.15μm	0.20μm	0.10～ 200mm	―	0.5～5.0	0°～20°	－30°～10°
	精級 Ｓ	0.5μm	1.0μm	2.0μm

※商品コードはUTEの商品管理No.です。

ＵＰＣ－Ｆ

平面・円筒の高能率超精密切削に真髄発揮

用途
１．レーザー反射ミラー
２．ポリゴンミラー
３．複写機感光ドラム
４．平面・円筒鏡面加工
特徴
１．慣らし加工時間を大幅に短縮、又は不要としました。
２．被削材質や加工条件に合った切刃稜の丸み(鋭利さ)を設定し、均一な高品位加工面が得られます。

■寸法及び限界精度

ＵＰＣ－Ｔ

フレンネルレンズなど、微細溝入れ加工に最適のツール

用途
１．液晶ディスプレイ導光板金型
２．フレンネルレンズ
３．その他微細溝入れ加工
特徴
１．刃先稜はチッピングやうねりが無く、均一で極めて鋭利です。
２．刃先先端の形状をサブミクロンオーダーで保証しています。

■寸法及び限界精度

型　番		刃先角θ	先端幅Ｗ	真直度	逃げ角α	すくい角β
ＵＰＣ－Ｔ	超精級 ＳＳ	20°以上	min0.2μm	0.05μm	0°～15°	－5°～10°
	精級 Ｓ		min2μm	0.１μm